Máquina da evaporação do calor bonde/equipamento térmico da destilação de vácuo

A evaporação envolve dois processos básicos: um material de origem quente evapora e condensa-se na carcaça. Assemelha-se ao processo familiar por que a água líquida aparece na tampa de um potenciômetro de ebulição. Contudo, o ambiente e o fonte de calor gasosos (veja o “equipamento” abaixo) são diferentes.

A evaporação ocorre em um vácuo, isto é vaporiza a não ser o material de origem é removida quase inteiramente antes que o processo comece. No vácuo alto (com um trajeto livre médio longo), as partículas evaporadas podem viajar diretamente ao alvo do depósito sem colidir com o gás do fundo. (Pelo contraste, o exemplo de ebulição do potenciômetro, o vapor de água empurra o ar fora do potenciômetro antes que puder alcançar a tampa.) Em uma pressão típica 10 do^Pado −⁴, umas 0,4 partículas do nanômetro têm um trajeto livre médio de 60 objetos quentes do M. na câmara da evaporação, tal como filamentos do aquecimento, os vapores indesejáveis do produto que limitam a qualidade do vácuo.

Os átomos evaporados que colidem com as partículas estrangeiras podem reagir com elas; por exemplo, se o alumínio é depositado na presença do oxigênio, formará o óxido de alumínio. Igualmente reduzem a quantidade de vapor que alcança a carcaça, que faz a espessura difícil controlar.

Os materiais evaporados depositam nonuniformly se a carcaça tem uma superfície áspera (como os circuitos integrados fazem frequentemente). Porque o material evaporado ataca a carcaça na maior parte de um único sentido, as características de projeção obstruem o material evaporado de algumas áreas. Este fenômeno é chamado “sombreamento” ou da “cobertura etapa.”

Quando a evaporação é executada no vácuo pobre ou perto da pressão atmosférica, o depósito resultante é geralmente não-uniforme e tende a não ser um filme contínuo ou liso. Um pouco, o depósito parecerá distorcido.